Pallas A220 主要用于8英寸及以下快速热退火工艺。该机台采用快速热处理的成熟技术，通过灯管加热实现对晶圆在极短的时间内升温到高温，通过多温区控制实现温场均匀，用于离子注入后扩散激活退火等应用。
