NMC612G是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机，主要用于300mm晶片的金属Al line或Al Pad刻蚀，以及微显示领域刻蚀。NMC612G为多腔室集群设备（Cluster Tool），它是一个全自动化的，能够进行串行或并行工艺处理的刻蚀系统。 本设备包含工艺？楹痛淠？，可从12英寸硅片传输盒（FOUP）中连续自动取片并在所指定的工艺腔室里完成所设定的工艺。