Sirius MC313 SiC离子注入机主要用于6/8英寸SiC领域的掺杂工艺。该机台为单腔室单片式离子注入机，主要由高压仓？，光路？，靶室？楹透绞羯璞傅茸槌。其中离子源主要针对固态源，配置高温注入功能。
