eVictor CX30系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统主要由大气平台、真空传输平台、去气腔室、预清洗腔室以及工艺腔室组成，工艺腔室可以实现Ta、TaN以及Cu等多种材料沉积，Cluster架构能够高效完成铜籽晶层与阻挡层沉积，具备较好的填充能力。
